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    工業氣體和混合氣體對配置裝置的要求

    2021-03-09 10:45:44??????點擊:
    與其它標準氣體制備方法不同,工業氣體制備設備中電子混合氣體的制備似乎更加復雜,用于電子混合氣體制備設備的管道等級為EP(電解研磨),材質為316L,精.密壓力表或壓力傳感器的精度優于0.25級,材質為316L。在使用前,要確保該裝置要求:正壓試驗,工作壓力1.5倍,持壓30min;真空氦檢漏:≤10-9atm.cc/s;系統濕度:≤-80℃;微量氧:≤10×10-9;微粒測定:≤1EA/ft3at0.1μm;≤5EA/ft3at0.05μm。為防止產生微粒,設備上應配置耐高壓、耐腐蝕的過濾器,如PALL生產0.003μm不銹鋼燒結或PTFE過濾器,并且不定期對氣體過濾器的過濾效果進行評估和測量,當過濾效果下降時,立即更換過濾器或過濾器。



    工業氣體等電子混合氣常用的平衡氣或稱底氣:N2,H2,He,Ar,O2;組分氣:PH3,SiH4,B2H6,Si2H6,GeH4,AsH3,TMB,BF3等,為降低平衡氣中有害雜質的含量,設有經凈化的平衡氣高壓凈化器,其純度大于百分之99.9999,在凈化器出口處設有在線H2O,O2檢測儀表,隨時反映凈化器出口氣體中關鍵雜質的含量,該凈化器內裝有氣體過濾器。因為成分氣屬于劇毒或有毒化學品,吹掃氣、放空氣、真空抽排出氣不能排出大氣,雖然化學法可以通過反應中和,但由于它涉及到水溶液,所以該法案不是推薦的方法,我們通常采用催化分解或燃燒的方法,可以解決AsH3以外的有毒氣體,AsH3處理方法只是氣體中的有毒物質變成固體。

    為避免交叉污染,應根據運行情況確定工業氣體配氣設備的數量,這一點非常重要,例如,由于B2H百分之65-H2的化學性質,在短時間內將吸附在系統中的殘留B2H6配制為B2H6混合氣,由于B2H6的化學性質,很難通過吹掃抽空將殘留B2H6吹凈,因此,如果系統重新配制PH3混合氣,無疑會對氣體造成嚴重污染。因為他們同屬摻雜氣體,少量的殘留物不會被使用。


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